reaktives Ätzen

reaktives Ätzen
reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.

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  • Plasma-unterstütztes Ätzen — (physikalisch chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie. Als Trockenätzverfahren stellen sie alternative Strukturierungsverfahren zum sog. Nassätzen (nasschemischen …   Deutsch Wikipedia

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  • reactive etching — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • reaktyvusis ėsdinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • реактивное травление — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Advanced Silicon Etching — Reaktives Ionentiefenätzen (engl. Deep Reactive Ion Etching, DRIE), eine Weiterentwicklung des reaktiven Ionenätzen (RIE), ist ein hoch anisotroper Trockenätzprozess für die Herstellung von Mikrostrukuren in Silicium mit Aspektverhältnissen (das… …   Deutsch Wikipedia

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